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//DE（double exposure，双重曝光），SADP（self-aligned double patterning自对准双重成像）

如果说唯一有希望的，可能就是远芯体系下，在这十几年中诞生的成果——但远芯毕竟是企业，哪有那么多伟大的贡献？

说着苏远山看了一眼张汝金，又补充道：“并且我站在一个工程师的立场来说，我认为提出理论和实现工艺同样重要。”

“那能拿北极星么？”周小慧眨了眨眼，好奇地问道。

张汝金听了后含笑点头。

苏远山说着把视线望向了对面互联网领域的一群人。

“星辰大海，脑机互联，这是人类未来的两条路，你们选一条。”

但远芯对半导体行业的讨论仍然在继续。

见周小慧还是有些不懂，苏远山便放弃了解释，直接道：“反正就是，我们以前所说的制程就是指的mosfet结构中的沟道长度。沟道越短，电阻越小，性能越高，同时晶体管密度也就越大，所以才要不断提升制程。”

然后众人便齐齐地望向苏远山。

在结束完半导体https://m.hetushu.com.com的议题后，苏远山直接掌控会议进程，这一次，他目光望向了席小丁。

“而finfet结构就是为了解决这个问题而诞生的，甚至还因为它的结构是把晶体管竖了起来——譬如我竖起了手掌——从而可以获得更高的晶体管密度之外，还能很好地解决短沟道效应。所以，从目前来看，22nm是今后高性能芯片是否采用finfet结构的一个分水岭。”

苏远山：“……”

但让人有些觉得遗憾，或者说感慨的是，北极星的规格越高，影响力越大，那就意味着……国内的机会也就越少。

——他当然不是为了自己，而是为了在厂里忙得不日不夜的梁孟松。

“那我们搞搞可控核聚变？”李明柳马上道，但他随即看了几眼身边的人，皱起眉来：“似乎没人能搞？”

……

“等效制程呢？”

“好了，我们进入下一个议程。”

在场的众人并不是每个人都对半导体工艺有理解，见到身边的周小慧露出迟疑的神色，苏远山就轻轻咳了一声，笑着替她解释道：“目前的https://www.hetushu.com.com电脑芯片一直采用mosfet结构，嗯……准确的说，是NPN结构……”

“如果intel跟不上，那这将会是一次巨大的领先！”张汝金红光满脸，终于忍不住有些激动起来：“制程进入到22nm之后，finfet将会是唯一的选择，最起码目前是。”

“懂了吧？”苏远山目光灼灼地看着周小慧。

对面的一群人便乐了起来，丁垒一边笑着一边打趣道：“感觉梦回90年的课堂。”

苏远山一怔，随即一摊手：“别看我……我说了也不算……不过我个人认为……师兄还是有资格的。”

“摩尔定律就是这么实现的。”苏远山笑着补充了一句。

毕竟，唐文杰此前已经获得了IEEE的固态电路奖以及Paul Rappaport奖——这两个奖，都是颁给有“杰出贡献”学者的。

“好吧，反正只需要知道这个工艺很有意义，十分有意义。”

“等效制程就是，在finfet结构下的晶体管数量，按照mosfet结构来算的话，需要多少的制程才能达到。譬如htｔps://ｍ•hｅtｕsｈu•coｍ•coｍ一个芯片采用finfet结构，有100亿个晶体管。用mosfet结构的话，要达到100亿个晶体管，沟道长度需要缩短到14nm——于是我们就认为这款芯片的等效制程是14nm。”

“最迟年中，我们就可以推出基于22nm的finfet工艺，把晶圆的晶体管密度再上一个台阶。而且我们目前的DE技术已经成熟，目前正在向SADP技术转移，从技术的角度，是可以支撑我们的工艺在DUV的条件下把制程继续往下探，或者说，等效制程往下探。”

下午的会议，郑振川就没有再参加了。

最起码就目前而言，这是事实。

大家数来数去，发现站在公平的立场上，发现除了苏远山，富士雄，席小丁这三人分别在物理，闪存，以及人工智能领域有巨大贡献之外，就目前而言，可能就只有提出了finfet结构的唐文杰了。

北极星已经开了两届，而且和当期的诺奖装车率极高，这一下就拉高了北极星的“逼格”。

“新能源，新生产方式，新生活方式——这是我对下一次改变人类命运的工业革和-图-书命的一点理解——虽然目前有不少声音提出了很多种标准，譬如更快更新的通讯技术，譬如物联网，譬如新能源，譬如信息化的进一步革命，智能化等等……还达成共识……但在我看来，这些都是老调常谈。”

苏远山说着叹了口气：“工业革命，归根到底还是要落在能源上，而且这个能源，还不能是目前的新能源概念——现在的所谓新能源，只能算是清洁能源。真正的新能源，应该是可控核聚变，而且还得是成本和技术都完全成熟的可控核聚变。”

“……我们是企业，肯定是投钱给学校，给科研机构。”苏远山无语地看了李明柳一眼，再次翻开了笔记本。

周小慧抿嘴一笑：“不是很懂。”

毕竟，这与会的多人里，还是苏远山对半导体工艺理解得最深刻。

“国外已经有公司在致力于可回收火箭的研究，国内也在去年对民间航天松开了口子，那么……我们也是时候启动航天的步伐了。”

“是啊，但今年我们可以提前一大步了。”张汝金笑呵呵地望向众人，但主要的视线还是停在苏远山的脸上。

“除此之外，我们也要积极考虑下一次工业革命。”

“wwｗ•hetｕshｕ.coｍ•cｏm过去十几年，我们一直在和intel比工艺，截止去年，我们都已经走到了成熟的45nm节点上。”张汝金戴上了老花镜，瞥了一眼手中的文件，脸上是不甚唏嘘的感慨：“不得不说，intel还是很厉害的，我们每次有领先，他们总是能够及时的追上来甚至还能反超。”

“哦？然后呢？”

“当然，由于制度的关系，我们不可能也不需要和国家航天局去抢空间站，抢登月……更不可能喊出要殖民火星的口号——脚踏实地才符合我们目前的实际情况。因此，着眼于商业火箭的研发，特别是大推力，可回收商业火箭的开发，是比较适合我们目前走的一条路。”

“然后就是，视觉模拟技术。”

“然后就是如果还是沿用以前mosfet结构的话，当沟道长度越来越短，譬如22nm之后，源极和漏极之间也会越来越近，电场也越来越近。”苏远山说着伸出双手靠近，然后把自己的笔记本放在手上：“我的两只手就是源极和漏极，电流从源极流入，漏极流出，并产生电场，当它们距离过近，就会干扰到上面的栅极，从而漏电——我们把这个效应称为短沟道效应。”